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后晶圓處理輪

精密加工的金剛石工具，可對晶圓進行研磨，以退回晶圓，這是FAB處理后不需要的部分，以保持一致的晶圓厚度并產生出色的表面輪廓
   

CMP PAD空調器

連續(xù)調節(jié)前墊以拋光晶片并在前墊上均勻分布漿料